株式会社ナノテクフォトン
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表面分析装置試料洗浄用極端紫外光照射装置、型番CLA-1304-V
 
新開発された卓上型極端紫外光照射装置の写真

小型極端紫外光照射装置、型番MPA-1304

仕様

ランプ形態

真空容器取付型ランプ

真空紫外光波長

126nm もしくは 147nm
(利用ガスによって
 随時選択可能)

発光形態

高周波による擬似連続光

光源部照射出力

5mW/cm2 @126nm
5mW/cm2 @147nm

有効エリア

φ30mm

開口部における
光強度均一性

<± 5 %

ランプ寿命

3000 時間

使用電圧

AC100V

外形寸法

ランプ本体:
110W × 150D × 400H
電源制御部:
250W × 200D × 200H

真空容器への
取付形態

O-ring 対応

新開発された小型真空紫外光洗浄装置の写真

小型極端紫外光照射装置、型番MPA-1304
新開発され表面分析装置試料洗浄用極端紫外光照射装置の写真

小型真空紫外光洗浄装置、型番CLA-1005-A

仕様
ランプ形態 窓なしランプ
真空紫外光波長 126nm
発光形態 高周波による擬似連続光
使用ガス 弊社指定高純度 Ar 15L / min
光源部照射出力 5mW/cm2 以上
有効エリア 500mm × 600mm
光強度均一性 <± 10 %
ランプ寿命 3000 時間
使用電圧 AC200V
装置外形寸法 1000W × 800D × 1180H

汎用真空紫外光照射装置の写真