株式会社 NTP
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 希ガスエキシマ光源の研究分野では、常に世界のトップグループをリードしてきました。
宮崎大学工学部レーザー研究室は、真空紫外波長域の電子ビーム励起レーザーや、放電励起レーザーでは常に世界のトップの研究成果を上げてきました。潟iノテクフォトンはそのレーザー技術を基に希ガスエキシマランプを設計製造しています。


   
   
小型真空紫外光洗浄装置の洗浄イメージ

エキシマランプによる洗浄イメージ


小型真空紫外光洗浄装置の洗浄例



【洗浄前】
表面が汚染され光沢にムラがあり濁っている。淵も白く汚れている。



【洗浄後】
表面汚染が取れて光沢が均一になり光沢が増している。白かった淵の汚れも無くなった。

   
 


小型真空紫外光洗浄装置の用途例
○オージェ、エスカ、電子顕微鏡等
  表面解析、試料の洗浄
○光学素子の洗浄
○フォトマスクの洗浄
○半導体ウェハ洗浄
○ポリイミド等
 難接着性プラスティック
 の接着性の向上
○印刷の前処理
○医療機器殺菌洗浄

 

小型真空紫外光洗浄装置の洗浄イメージ

1、実用最短波長126nmの単一波長
2、瞬時の点灯・点滅が可能
3、常温・常圧で照射
4、ランプサイズ・形状のバリエーションが豊富